اولین میکروسکوپها در قرن هفدهم ساخته شدند. احتمالاً مؤثرترین آنها توسط لیون هوک ساخته شد که به صورت شیشههای کوچک نصب شده در یک صفحه فلزی بود که نزدیک چشم نگه داشته شده میشد و از روشنایی روز برای دیدن نمونه بهره میبرد. انواع دیگر میکروسکوپهای اولیه تصویر واضحی فراهم نمیکردند تا قرن نوزدهم که میکروسکوپهای ترکیبی، به برتری تکنیکی نسبت به میکروسکوپهای تکلنزی دست یافتند. استفاده از میکروسکوپهای ترکیبی سادهتر بود و به واسطه پیشرفت در تکنولوژی طراحی، قدرت تفکیک بهبود یافته و نقصهای عدسیها کاهش یافت. در سال 1876 تئوری تشکیل تصویر اب (Abbé) نشان داد که طول موج نور، محدودیتی در حدود 0/2 میکرومتر بر قدرت تفکیک اعمال مینماید. در این مرحله، دستگاه تقریباً در حد کمال خود بود و از 1900 به بعد بیشتر پیشرفتها، عمدتاً در تکنیکهای استفاده، روشهای روشنایی و راههای بهبود کنتراست بوده است.
تمامی حقوق برای میکروفن نوری محفوظ است